Accelerometer X, Y, Z Axis ±2g, 4g, 8g, 16g 5.06Hz ~ 684Hz 12-LGA (2x2)
Accelerometer X, Y, Z Axis ±2g, 4g, 6g, 8g, 16g 8Hz ~ 500Hz 12-LGA (2x2)
Accelerometer X, Y, Z Axis ±2g, 4g, 8g, 16g 8Hz ~ 1kHz 12-LGA (2x2)
Accelerometer X, Y, Z Axis - - 22-LGA (2.7x2.6)
Accelerometer X, Y, Z Axis ±2g, 4g, 8g, 16g - 12-LGA (2x2)